X.射线衍射分析：
（1）每种元素特征X射线谱有若干条特定波长的X射线构成；
（2）每种元素有唯一对应的特征X射线谱。
透射电子显微分析：
（1）高分辨率：点分辨率：r=0.23—0.25nm，线分辨率：r=0.104—0.14nm；
（2）高放大倍数：100—80万倍，连续可调；
电子衍射：可进行结构分析。
电子衍射分析：波长短，受物质的散射强。单晶的电子衍射谱和晶体倒易点阵的二维截面完全相似。衍射束强度有时几乎与透射束相当；散射强度高，电子穿透能力有限，比较适用于研究微晶、表面和薄膜晶体。