方法有：反转法、平移法、两点法和三点法等。
反转法简单方便，由于测量需进行两次，不能用于实时控制。对于垂直方向的形状位置测量可视具体情况而定；平移法测量也分两次进行，在第二次测量时，工件平移一个步距，平移法简单方使，但不能用于实时控制，且测量误差会产生累积；两点法，当所选步距越小，则机床直线运动部件的角运动误差的影响越小，但随着步距数的增大，测量误差的累积也增大。由于测量是在一次测量中两测头同时读数，故可用于实时控制；三点法，可避免机床直线运动部件角运动误差的影响，它可用于实时控制。