三点法误差分离主要用于测量工件圆度误差，而且工件加工圆度误差与机床主轴回转误差为同一数量级的情况，可基于上述的测量方程式建立圆度误差分离数学模型来求解。现在，三点法又扩展到用于圆柱度、直线度等测量中、在进行圆柱度测量时，可将运动分解为工件绕其轴线的转动和测量架沿工件细线方向的直线运动，这样从传感器所测得圆柱体各截面的轮廓误差便可得到整个圆性体的形貌。