1）反复检测误差出现的状况，分析其数值和方向，寻找其规律，找出影响误差的主要因素，确定误差项目。
2）进行误差信号的处理。去除干扰信号、分离不需要的误差信号，找出工件加工误差与在补偿点的补偿量之间的关系，建立相应的数学模型。
3）选择或设计合适的误差补偿控制系统和执行机构，以便在补偿点实现补偿运动。
4）验证误差补偿的效果，进行必要的调试，保证达到预期要求。