综合误差补偿：综合误差补偿是指同时补偿几项误差。如在精密车床上同时对工件的圆度和圆柱度进行误差补偿。显然，综合误差补偿比单项误差补偿要复杂，但效率高、效果好。
多维误差补偿：多维误差补偿是在多坐标上进行误差补偿，如在三坐标测量机上同时对三个坐标进行误差补偿，其难度和工作量都比较大，是近几年来发展起来的误差补偿技术。
预报型误差补偿：它利用在线随机建模理论、先进的传感技术、计算机技术、微位移技术等。可以对随机误差进行建模和预报，对动态误差进行实时补偿。实际上，它是时间序列分折、预报与控制在制造技术中的应用。