1）使超精密机床尽量远离振源。机床附近的振源，如空压机、泵等应尽量移走。实在无法移走时，应采用单独地基，加隔振材料等措施，使这些无法移走的振源所产生的振动对精加工的影响尽量减小。
2）超精密机床采用单独地基，隔振沟、隔扳墙等。为减少外界振动的干扰，地基应有足够的深度，地基周围用隔振沟，沟中使用吸振材料。过去为防止外界振动的传入，有使用弹簧将地基架起来，它的隔损频率不够低，且不能自动找水平。
3）使用空气隔振垫。机床使用空气隔振垫后需要有自动找水平的控制系统，必须在机床运动部件移动重心改变时，仍能保持水平。

大型超精密金刚石DTM-3型车床和大型超精密车床LODTM。