掺氯氧化使用的HCL是（）。

单项选择题X 纠错

掺氯氧化使用的HCL是（）。

A.液态源
B.固态源
C.气态源

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A.1
B.2
C.3
D.4

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以下哪项不是STI工艺气体？（）

A.SiH₄
B.O₂
C.N₂O
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CMP清洗部分的顺序是（）。

A.兆声清洗（Meg）-SRD（甩干）-Brush（刷洗）
B.兆声清洗（Meg）-Brush（刷洗）-SRD（甩干）
C.Brush（刷洗）-兆声清洗（Meg）-SRD（甩干）
D.Brush（刷洗）-SRD（甩干）-兆声清洗（Meg）

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A.静电扫描
B.机械扫描
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A.黄色标识，有白烟
B.红色标识，臭大蒜味道
C.黑色标识，无色大蒜味

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A.1Ω
B.5Ω
C.10Ω

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