半导体集成电路是依靠所谓的平面工艺一层一层制备起来的。对于逻辑器件，简单地说...

判断题X 纠错

半导体集成电路是依靠所谓的平面工艺一层一层制备起来的。对于逻辑器件，简单地说，首先是在Si衬底上划分制备晶体管的区域，然后是离子注入实现N型和P型区域，其次是做栅极，随后又是离子注入，完成每一个晶体管的源极和漏极。这部分工艺流程是为了在Si衬底上实现N型和P型场效应晶体管，又被称为前道工艺。（）

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