传感器线圈由高频信号激励，使它产生一个高频激励磁场φ_i，当被测导体靠近线圈时，在磁场作用范围的导体表层，产生了与此磁场相较连的电涡流i_e，而此电涡流又将产生一交变磁场φ_e阻碍外磁场的变化。从能量角度来看，在被测导体内存在着电涡流损耗（当频率较高时，忽略磁损耗）。能量损耗使传感器的Q值和等效阻抗Z降低，因此当被测体与传感器间的距离d改变时，传感器的Q值和等效阻抗Z、电感L均发生变化，于是把位移量转换成电量。这便是电涡流传感器的基本原理。