问答题X 纠错

参考答案:

替位式扩散、填隙式扩散、填隙—替位式扩散

查答案就用赞题库小程序 还有拍照搜题 语音搜题 快来试试吧
无需下载 立即使用

你可能喜欢

问答题

氧化膜厚度的测定方法?

参考答案:

双光干涉法、比色法

问答题

热氧化常见的缺陷有?

参考答案:

表面缺陷、结构缺陷、氧化层中的电荷

问答题

为何热氧化时要控制钠离子含量?降低钠离子污染的措施有哪些?

参考答案:因为氧化层中如含有高浓度的钠,则线性和抛物型氧化速率常数明显变大。措施有:加强工艺卫生方可以避免Na+沾污;也可采用掺氯...

问答题

影响热氧化层电性的电荷来源有哪些类型?降低这些电荷浓度的措施?

参考答案:(1)可动离子电荷(Qm):加强工艺卫生方可以避免Na+沾污;也可采用掺氯氧化,固定Na+离子;高纯试剂(2)固定离子电...

问答题

影响氧化速率的因素有?

参考答案:

温度、气体分压、硅晶向、掺杂

问答题

热氧化工艺有哪些?

参考答案:

有干氧氧化、湿氧氧化、水汽氧化

问答题

氧化硅的主要作用有哪些?

参考答案:

1、作为掩膜,
2、作为芯片的钙化和保护膜,
3、作为电隔离膜,
4、作为元器件的组成部分。

问答题

SiO2中杂质有哪些类型?

参考答案:

替代式杂质、间隙式杂质

问答题

何谓桥键氧,非桥键氧?它们对SiO2密度有何影响?

参考答案:连接两个Si—O四面体的氧原子称桥联氧原子,只与一个四面体连接的氧原子称非桥联氧原子。桥联的氧原子数目越多,...

问答题

何谓掺杂?

参考答案:在一种材料(基质)中,掺入少量其他元素或化合物,以使材料(基质)产生特定的电学、磁学和光学性能,从而具有实际应用价值或特...
赞题库

赞题库-搜题找答案

(已有500万+用户使用)


  • 历年真题

  • 章节练习

  • 每日一练

  • 高频考题

  • 错题收藏

  • 在线模考

  • 提分密卷

  • 模拟试题

无需下载 立即使用

版权所有©考试资料网(ppkao.com)All Rights Reserved