问答题X 纠错

影响热氧化层电性的电荷来源有哪些类型？降低这些电荷浓度的措施？

参考答案：

（1）可动离子电荷（Qm）：加强工艺卫生方可以避免Na+沾污；也可采用掺氯氧化，固定Na+离子；高纯试剂
（2）固定离子电荷Qf：（1）采用干氧氧化方法（2）氧化后，高温惰性气体中退火
（3）界面陷阱电荷Qit：在金属化后退火（PMA.；低温、惰性气体退火可降低
（4）氧化层陷阱电荷Qot：选择适当的氧化工艺条件；在惰性气体中进行低温退火；采用对辐照不灵敏的钝化层可降低

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