问答题X 纠错

参考答案:

替代式杂质、间隙式杂质

查答案就用赞题库小程序 还有拍照搜题 语音搜题 快来试试吧
无需下载 立即使用

你可能喜欢

问答题

何谓桥键氧,非桥键氧?它们对SiO2密度有何影响?

参考答案:连接两个Si—O四面体的氧原子称桥联氧原子,只与一个四面体连接的氧原子称非桥联氧原子。桥联的氧原子数目越多,...

问答题

何谓掺杂?

参考答案:在一种材料(基质)中,掺入少量其他元素或化合物,以使材料(基质)产生特定的电学、磁学和光学性能,从而具有实际应用价值或特...

问答题

SiO2按结构特点分为哪些类型?热氧化生长的SiO2属于哪一类?

参考答案:

二氧化硅按结构特点可将其分为结晶形跟非结晶形,热氧化生长的SiO2为非结晶态。

问答题

CMP(CMP-chemical mechanical polishing)包括哪些过程?

参考答案:

包括:边缘抛光:分散应力,减少微裂纹,降低位错排与滑移线,降低因碰撞而产生碎片的机会。表面抛光:粗抛光,细抛光,精抛光

问答题

硅片研磨及清洗后腐蚀的方法有哪些?

参考答案:

腐蚀方式:喷淋及浸泡

问答题

硅片研磨及清洗后为什么要进行化学腐蚀?

参考答案:

工序目的:去除表面因加工应力而形成的损伤层及污染

问答题

硅片表面吸附杂质清洗顺序是什么?

参考答案:

清洗顺序:去分子-去离子-去原子-去离子水冲洗-烘干、甩干

问答题

硅片表面吸附杂质的存在状态有哪些?

参考答案:

被吸附杂质的存在状态:分子型、离子型、原子型

问答题

与Al布线相比,Cu布线有何优点?

参考答案:

铜作为互连材料,其抗电迁移性能比铝好,电阻率低,可以减小引线的宽度和厚度,从而减小分布电容。

问答题

什么是低K材料?

参考答案:

低K材料:介电常数比SiO2低的介质材料

赞题库

赞题库-搜题找答案

(已有500万+用户使用)


  • 历年真题

  • 章节练习

  • 每日一练

  • 高频考题

  • 错题收藏

  • 在线模考

  • 提分密卷

  • 模拟试题

无需下载 立即使用

版权所有©考试资料网(ppkao.com)All Rights Reserved