问答题X 纠错
如果在整个扩散过程中,硅片表面的杂质浓度始终不变,这种类型的扩散称为恒定表面源扩散。结深只与扩散时间t和扩散系数D有关,与二者的平方根成正比。
扩散系数D与温度T成指数关系,因而温度通过扩散系数对扩散分布和结深的影响要远大于扩散时间的影响。
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扩散,是一种材料通过另一种材料的运动。
扩散的两个必要条件:浓度差,过程所需要的能量。
固态,液态,气态扩散。
属于固态扩散。
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根据下图给出的一氧化工艺的菜单实例,试说明:
(1)该工艺采用的氧化方法
(2)每一步骤的具体作用(或状态)
(3)氮气在整个工艺流程中的作用
(4)工艺过程中加入HCl的主要作用
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