半导体工艺中电介质薄膜的应用

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半导体工艺中电介质薄膜的应用

参考答案：（1）作为钝化保护层
（2）ILD0的掺杂物阻挡层
（3）紫外线可以穿透的保护层
（4）作为ILD材料

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