（1）适合于加工各种硬脆材料，特别是某些不导电的非金属材料。
（2）由于工具材料硬度很高，故易于制造形状复杂的型孔。
（3）加工时宏观切削力很小，不会引起变形、烧伤。
（4）加工机床结构和工具均较简单，操作维修方便。
（5）生产率较低。这是超声波加工的一大缺点。