加工电流是加工时电流表上指示的流过放电间隙的平均电流。加工电流精加工时小，粗加工时大，间隙偏开路时小，间隙合理或偏短路时则大。

火花维持电压是每次火花击穿后，在放电间隙上火花放电时的维持电压，一般在25V左右，但它实际是一个高频振荡的电压。

放电时间是工作液介质击穿后放电间隙中流过放电电流的时间，即电流脉宽，它比电压脉宽稍小，二者相差一个击穿延时。

电子束加工的基本原理是利用能量密度极高的高速电子细束，在高真空腔体中冲击工件，使材料熔化、蒸发、汽化，而达到加工目的。