利用带有电荷的离子在电场中加速后具有一定动能的特点，将离子引向欲被溅射的靶电极。

在直流稳定电场作用下产生的气体放电现象。

低于材料熔化温度时，产生蒸汽的过程。

在一定的温度下，真空室内蒸发物质的蒸气与固态或液态平衡时所表现出来的压力。

利用蒸发材料在高温时所具有的饱和蒸气压进行薄膜制备。

利用某种物理过程，例如蒸发或者溅射现象实现物质的转移，即原子或分子由源转移到衬底表面上，并淀积成薄膜。

就是快速退火，即降低退火温度，或者缩短退火时间完成退火。

离子沿沟道前进，核阻挡作用小，因而射程比非晶靶远得多，这种现象叫沟道效应。

注入离子与靶内的自由电子和束缚电子碰撞，产生电子空穴对。注入离子方向基本不变。

在离子注入中，注入离子与靶原子核碰撞，将能量传给靶核，离子发生偏转，靶核产生位移。