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在平衡条件下,杂质能溶解在硅中而不发生反应形成分凝相的最大浓度。
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名词解释
离子从进入靶到停止为止走过的总距离。
所有入射离子的投影射程的平均值。
射程在离子入射方向投影的长度。
来自原子之间的电子阻止,属于非弹性碰撞。
来自原子核之间的碰撞,属于原子核之间的弹性碰撞。总能量损失为两者的和。
当离子沿晶轴方向入射时,大部分离子将沿沟道运动,不会受到原子核的散射,方向基本不变,可以走得很远。
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