离子从进入靶到停止为止走过的总距离。

所有入射离子的投影射程的平均值。

射程在离子入射方向投影的长度。

来自原子之间的电子阻止，属于非弹性碰撞。

来自原子核之间的碰撞，属于原子核之间的弹性碰撞。总能量损失为两者的和。

当离子沿晶轴方向入射时，大部分离子将沿沟道运动，不会受到原子核的散射，方向基本不变，可以走得很远。

又称光致抗蚀剂，由感光树脂、增感剂和溶剂三种主要成分组成的对光敏感的混合液体。

是升高温度的情况下给掺杂氧化硅加热，使它发生流动。