来自原子核之间的碰撞，属于原子核之间的弹性碰撞。总能量损失为两者的和。

当离子沿晶轴方向入射时，大部分离子将沿沟道运动，不会受到原子核的散射，方向基本不变，可以走得很远。

又称光致抗蚀剂，由感光树脂、增感剂和溶剂三种主要成分组成的对光敏感的混合液体。

是升高温度的情况下给掺杂氧化硅加热，使它发生流动。

是指用金属薄膜填充通孔，以便在两金属层之间形成电连接。

是指穿过各种介质从某一金属到毗邻的另一金属层形成电通路的开口。

是指芯片内的器件与第一层金属之间在硅表面的连接。

指由导电材料，如铝、多晶硅或铜制的连线将电信号传输到芯片的不同部分。也被用做芯片上器件和整个封装之间普通的金属连接。