趋势：1.向高精度方向发展，由现在的亚微米级向纳米级进军，最终达到“移动原子”的目的，实现原子级加工。2.向大型化方向发展，研制各类大型的超精密加工设备，以满足航空、航天、通信和军事的需要。3.向微型化方向发展，以适应飞速发展的微机械、集成电路的需要。4.向超精结构、多功能、光机电一体化、加工检测一体化等方向发展，广泛的采用先进的检测监控技术实时误差补偿。5.不断提出一些新工艺和复合加工技术，使加工的材料的范围不断扩大。
研究方向：1.超精密加工的加工机理。微细加工机理研究；微观表面完整性研究；在超精密范畴内的对各种材料（包括被加工材料和刀具磨具材料）的加工过程、现象、性能以及工艺参数进行提示性研究。2.超精密加工设备制造技术。纳米级超精密车床工程化研究；超精密磨床研究；关键基础件，如轴系、导轨副、数控伺服系统、微位移装置等研究；超精密机床总成制造技术研究。3.超精密加工刀具、磨具及刃磨技术。金刚石刀具及刃磨技术、金刚石微粉砂轮及其修整技术研究。4.精密测量技术及误差补偿技术。纳米级基准与传递系统建立；纳米级测量仪器研究；空间误差补偿技术研究；测量集成技术研究。5.超精密加工工作环境条件。超精密测量、控温系统、消振技术研究；超精密净化设备，新型特种排屑装置及相关技术的研究。