你可能喜欢
问答题
假设某项化学气相淀积工艺受反应速率控制，在700 ℃和800 ℃时的淀积速率分别为500Å/min和2000Å/min，请计算在900℃下的淀积速率是多少？实际测量发现900℃下淀积速率远低于计算值，说明什么？怎样证明？（化学气相淀积的反应速率常数
）
问答题
识别如图所示工艺，写出每个步骤名称并进行描述。
问答题
如图为铝金属化与铜金属化工艺的比较。识别并描述每个工艺步骤。
单项选择题
A. 电活性
B. 晶格损伤
C. 横向效应
D. 沟道效应
单项选择题
A. 激活杂质后
B. 一种物质在另一种物质中的运动
C. 预淀积
D. 高温多步退火
单项选择题
A. 有选择地形成被刻蚀图形的侧壁形状
B. 在涂胶的硅片上正确地复制掩膜图形
C. 变成刻蚀介质以形成一个凹槽
D. 在大于3微米的情况下，混合发生化学作用与物理作用
单项选择题
A.增大光源波长；
B.减小光源波长；
C.减小光学系统数值孔径；
D.增大光学系统数值孔径。
