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基座与主轴平台间由六根杆并联地连接,六根杆同时相互耦合地作伸缩运动来确定平台的运动,由六根杆分担受力,且只承受拉力或压力。具有刚度高,移动部件质量小,结构简单以及相同零件多的优点。
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名词解释
是一种新型的三维超微细加工技术,采用深度X射线光刻,电铸成模或微塑造的方法,可以用来制作任意形状的三维微细结构。
加工精度在10-0.1um,表面粗糙度值0.3-0.03um的加工技术。
并行工程是一种对产品及其相关过程(包括制造过程和支持过程)进行并行的和集成设计的系统化工作模式。
产品在规定的条件下和规定的时间区间内,完成规定功能的能力。
企业敏捷制造战略层、企业敏捷化建设及经营策略变更层、企业技术准备层、敏捷制造系统构件层、敏捷制造系统运行与管理层
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