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问答题

什么是多层金属化?它对芯片加工来说为什么是必需的?

参考答案:

问答题

例举并描述薄膜生长的三个阶段。

参考答案:(1)晶核形成分离的小膜层形成于衬底表面,是薄膜进一步生长的基础。(2)凝聚成束形成(Si)岛,且岛不断长大(3)连续成...

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影响氧化速度的因素有哪些?

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描述热氧化过程。

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说明水汽氧化的化学反应,水汽氧化与干氧氧化相比速度是快还是慢?为什么?

参考答案:化学反应:Si+2H2O->SiO2+2H2水汽氧化与干氧氧化相比速度更快,因为水蒸气比氧气在二氧化硅中扩散更&ensp...

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二氧化硅薄膜在集成电路中具有怎样的应用?

参考答案:①器件保护(避免划伤和污染),因sio2致密;②表面钝化(饱和悬挂键,降低界面态;需一定厚度,降低漏电流等);③用作绝缘...

问答题

STI隔离技术中,为什么采用干法离子刻蚀形成槽?

参考答案:采用干法刻蚀,是为了保证深宽比。
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