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问答题
【简答题】简述溅射的四要素。
答案:
①:靶材物质
②:电磁场
③:底物
④:一整套完整配备的镀膜设备
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【简答题】简述溅射的基本内容。
答案:
所谓溅射,就是这充满腔室的工艺气体在高电压的作用下,形成气体等离子体(辉光放电),其中的阳离子在电场力作用下高速向靶材冲...
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答案:
(5)X射线光电子能谱法。X射线入射到自由原子的内壳层上,将电子电离成光电子,有电子能量分析测得光电子束缚能...
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