俄歇电子是由一定能量的电子束（或X射线）激发样品而产生的一种二次放射电子，其能量一般500~2000eV，逸出深度很小，仅0.4~2mm。

电子衍射是一种测定表面结构和成分的有效技术。目前，电子衍射一般都在透射电镜中进行

1、用于观察尺寸较大的试样
2、放大倍数变化范围
3、景深较大
4、分析功能多
5、分辩率低

照明系统的作用是提供亮度高、相干性好、束流稳定的照明电子束.它主要由发射并使电子加速的电子枪和会聚电子束的聚光镜组成。