电子衍射是一种测定表面结构和成分的有效技术。目前，电子衍射一般都在透射电镜中进行

1、用于观察尺寸较大的试样
2、放大倍数变化范围
3、景深较大
4、分析功能多
5、分辩率低

照明系统的作用是提供亮度高、相干性好、束流稳定的照明电子束.它主要由发射并使电子加速的电子枪和会聚电子束的聚光镜组成。

主要用于显微结构分析、晶粒形貌、晶体缺陷、纳米颗粒大小、界面结构、高分辨晶格像、微区成分分析等。

电子显微分析技术是采用透射式和扫描式电子显微镜进行表面分析的一种显微分析技术。