一类为热电子源，即在加热时产生电子；另一类为场发射源，即在强电场作用下产生电子.为了控制由电子源产生的电子束，并将其导人照明系统，须将电子源安装在称为电子枪的特定装置内。

照明系统的作用是提供亮度高、相干性好、束流稳定的照明电子束.它主要由发射并使电子加速的电子枪和会聚电子束的聚光镜组成。

主要用于显微结构分析、晶粒形貌、晶体缺陷、纳米颗粒大小、界面结构、高分辨晶格像、微区成分分析等。

电子显微分析技术是采用透射式和扫描式电子显微镜进行表面分析的一种显微分析技术。

（1）、摩擦与润滑材料以及涂层的摩擦学性能测试技术；（2）、摩擦表面测试分析技术；（3）、磨损微粒分析技术。

1）采用各种密封结构或空气过滤装置，防止尘土等外界磨料进入摩擦表面；2）用过滤器控制润滑液的污染，以防止及其磨损。