有一定能量的带电粒子与原子核发生核反应时，如果反应的剩余核是放射性核素，则测量这放射性核素的半衰期和活度，就可以确定样品中被分析元素的种类和含量。
带电粒子活化分析技术主要应用于样品表面层的痕量轻元素分析以及某些重元素分析。如B、C、N，O、P、S、Pb、Nb等。
入射带电粒子与轻元素之间的库伦势垒低；入射带电粒子与重元素之间的库伦势垒虽然较高，但对有些重元素（如Pb，NB.，其它分析方法灵敏度低。虽然带电粒子活化做常规分析不是十分方便，但可用来标定其它分析方法的测量结果。
干扰问题：
不同元素经照射后生成相同放射性核素的干扰——根据阈能，改变入射粒子能量。不同元素经照射后生成不同放射性核素，但发射的γ射线能量相同的干扰——根据半衰期，增加辐照后的冷照时间t。

入射粒子与靶原子核之间的库仑排斥力作用下的弹性散射过程的微分截面称为卢瑟福散射截面。

单位时间入射粒子在靶中引起的核反应数

从停止照射至样品开始测量的这一段时间叫做冷却时间。

一些稳定的原子核在粒子的作用下，发生核反应，变成新的放射性核素，这种现象称为活化。

在痕量元素的含量和分布的分析研究中，利用核探测技术、粒子加速技术和核物理实验方法的一大类分析测试技术，统称为核分析技术