扩散泵底部的工作油受热沸腾产生的蒸气通过中央管筒向上运动，到顶部受阻后从喷口外射出来。由于喷出的蒸气流速度很大，泵体上面的气体分子被蒸气流带走并被压缩。由于泵壁的冷却系统，油蒸气凝结为液体流向泵底，气体分子集结在排气口附近被抽走而产生真空。