在线参数测试的4个主要子系统为：
（1）探针卡接口：是自动测试仪与待测器件之间的接口。
（2）硅片定位：为测试硅片，首先要确与探针接触的硅片的探针仪位置。
（3）测试仪器：高级集成电路需要能够在测试结构上快速、准确、重复地测量亚微安级电流和微法级电容的自动测试设备，它控制测试过程。
（4）作为网络主机或客户机的计算机：指导测试系统操作的计算机包括测试软件算法、自动测试设备、用于硅片定位的探查控制软件、测试数据的保存和控制、系统校准和故障诊断。