是指脉冲的宽度按正弦规律变化而和正弦波等效的PWM波形。

控制技术就是对脉冲的宽度进行调制的技术，即通过对一系列脉冲的宽度进行调制，来等效的获得所需要的波形（含形状和幅值）。

直接检测工作台的位移来控制系统。

所谓传感器的线性度是其输出量与输入量之间的实际关系曲线偏离直线的程度。