问答题X 纠错
(1)晶核形成,成束的稳定小晶核形成 (2)聚集成束,也称为岛生长 (3)形成连续的膜
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问答题
(1)对材料具有高的选择比 (2)不会对器件带来等离子体损伤 (3)设备简单
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