根据采用的蚀刻剂不同，蚀刻可分为（）

多项选择题X 纠错

根据采用的蚀刻剂不同，蚀刻可分为（）

A.负性光刻
B.干法蚀刻
C.湿法蚀刻
D.正性光刻

参考答案：

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判断题

光刻技术的原理和印刷的照相制版相似，即在硅基材料上涂覆光刻胶，接着利用分辨率极高的能量束来通过掩模，对光刻胶层进行选择性曝光。经显影后，在光刻胶层上获得和掩模图像相同的极微细的几何图形，再利用刻蚀等方法在工件材料上制造出微型结构。

参考答案：对

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多项选择题

根据曝光时所用的光源不同，光刻可分为（）

A.X射线光刻法
B.光学光刻法
C.离子束光刻法
D.电子束光刻法

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判断题

在印刷电路板的应用中，电路板一般为高分子材料，可先在高分子材料表面PVD蒸镀金属层，而后材料电镀金属导线。

参考答案：对

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判断题

为提高电镀层结合力，在电镀后进行热处理，使电镀层与基体界面发生热扩散，形成冶金结合。

参考答案：对

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判断题

除改善摩擦学性能外，复合表面处理技术还可以用于提高防腐蚀性、增加表面装饰性、改善施工工艺性等方面。

参考答案：对

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判断题

根据两种工艺间的相互作用和对复合处理层综合性能的相对贡献，复合表面处理可大致分为两类，第一类，两种单一工艺互补；第二类，一种工艺递补或增强另外一种工艺，也就是一种工艺作为前处理或后处理，综合性能主要与其中一种工艺有关。

参考答案：对

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判断题

将结合两种或两种以上的表面处理技术，用于同一工件的表面处理，发挥各种表面处理技术的优点，组合使用不同表面技术，从而呈现出良好的综合效果，这种优化组合的表面处理方法称为复合表面处理或复合表面技术。

参考答案：对

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多项选择题

典型的高能束表面改性技术包括（）

A.电子束表面改性
B.离子渗碳技术
C.激光表面处理
D.离子注入表面改性

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多项选择题

典型的等离子体表面处理技术包括（）

A.离子渗金属
B.离子碳氮共渗
C.离子渗氮
D.离子渗碳

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多项选择题

气相沉积过程包括哪几个环节（）

A.气相物质的产生
B.气相物质在工件表面沉积形成固态薄膜
C.沉积材料蒸发
D.气相物质的输运

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