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半导体气体传感器是利用半导体气敏元件同气体接触,造成半导体性质变化,来检测气体的成分或浓度的气体传感器。半导体气体传感器大体可分为电阻式和非电阻式两大类。
固体电解质式气体传感器这类传感器内部不是依赖电子传导,而是靠阴离子或阳离子进行传导,因此,把利用这种传导性能好的材料制成的传感器称为固体电解质传感器。
接触燃烧式气体传感器是将白金等金属线圈埋设在氧化催化剂中构成。使用时对金属线圈通以电流,使之保持在300~600℃的高温状态,同时将元件接入电桥电路中的一个桥臂,调节桥路使其平衡。一旦有可燃性气体与传感器表面接触,燃烧热量进一步使金属丝升温,造成器件阻值增大,从而破坏了电桥的平衡。其输出的不平衡电流或电压与可燃烧气体浓度成比例,检测出这种电流和电压就可测得可燃性气体的浓度。
电化学式气体传感器包括离子电极型、定电位型、加伐尼电池型等种类。
集成型传感器有两类:一类是把敏感部分、加热部分和控制部分集成在同一基底上,以提高器件的性能;另一类是把多个具有选择性的元件,用厚膜或薄膜的方法制在一个衬底上,用微机处理和信号识别的方法对被测气体进行有选择性的测定,这样既可以对气体进行识别又可以提高检测灵敏度。
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