微电子测试图形是工艺监控的重要工具，为微电子工业普遍采用。微电子测试图形是一组专门设计的结构，采用与集成电路制造相容的工艺，通过对这些结构的测试和分析来监控工艺和评估由这种工艺制造的器件和电路。具体功能大致归纳为：
1）提取工艺、器件和电路参数，评价材料、设备、工艺和操作人员工作质量，实行工艺监控和工艺诊断；
2）制定工艺规范和设计规范；
3）建立工艺模拟、器件模拟和电路模拟的数据库；
4）考察工艺线的技术能力；
5）进行成品率分析和可靠性分析