在真空处理过程中，炉气的灰尘往往是设备故障的根源。灰尘在管线、弯头、喷射泵中大量沉积会引起气流阻塞，导致泵的性能恶化。通常，采用在蒸汽喷射泵入口处设有粗除尘和精除尘器，以除去烟气中的大颗粒灰尘。一般使用布袋除尘器或旋风除尘器。