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ICP-MS中双通道筒形雾室的内层同心管可减少信号强度的随机波动。
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ICP-MS中双通道筒形雾室的缺点是死空间多，易引起记忆效应。
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ICP-MS中单通道雾室记忆效应小，但在减缓蠕动泵中引起的脉冲噪声以及雾滴粒度分散效率要比双通道筒形雾室差。
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测量ICP-MS中氩气纯度差时，其所含的杂质气体不会对有些同位素产生质谱干扰。
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ICP-MS中的载气是等离子体的内管气流，其作用是在等离子体中打通一条通道，并携带和输送样品进入等离子体中。
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ICP-MS中采样锥和截取锥之间的距离是非常重要的参数。
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ICP-MS中截取锥的作用是选择来自采样锥孔的膨胀射流的中心部分，并让其通过截取锥进入下一级真空。
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ICP-MS中截取锥应经常清洗，否则重金属基体沉积在其表面会再蒸发电离形成记忆效应。
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经常清洗ICP-MS中截取锥可使记忆效应和多原子离子干扰降低。
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ICP-MS中的离子聚焦系统（离子光学透镜/离子光学系统）位于截取锥和质谱分离装置之间，它决定了离子进入质量分析器的数量和仪器的背景噪声的水平。
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ICP-MS中的离子聚焦系统（光学透镜/离子光学系统）由一组静电控制的离子透镜（离子光学透镜）组成，其原理是利用离子的带电性质，用电场聚集或偏转牵引离子。
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