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对正性光刻来说,剩余不可溶解的光刻胶是掩膜版图案的准确复制。
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曝光后烘焙,简称后烘,其对传统I线光刻胶是必需的。
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光刻区使用黄色荧光灯照明的原因是,光刻胶只对特定波长的光线敏感,例如深紫外线和白光,而对黄光不敏感。
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