影响因素：电子束束斑大小，检测信号类型，检测部位原子序数.SE和HE信号的分辨率最高，BE其次，X射线的最低.扫描电镜的分辨率是指用SE和HE信号成像时的分辨率.

普通紫外光谱用来鉴别具有共轭双键、电荷迁移跃迁和配位场跃迁的物质。但紫外光谱常作为辅助的鉴别手段。