波谱仪：用来检测X射线的特征波长的仪器能谱仪：用来检测X射线的特征能量的仪器
优点：
1）能谱仪探测X射线的效率高。
2）在同一时间对分析点内所有元素X射线光子的能量进行测定和计数，在几分钟内可得到定性分析结果，而波谱仪只能逐个测量每种元素特征波长。
3）结构简单，稳定性和重现性都很好
4）不必聚焦，对样品表面无特殊要求，适于粗糙表面分析。
缺点：
1）分辨率低.
2）能谱仪只能分析原子序数大于11的元素；而波谱仪可测定原子序数从4到92间的所有元素。
3）能谱仪的Si（Li）探头必须保持在低温态，因此必须时时用液氮冷却

四大系统：电子光学系统，真空系统，供电控制系统，附加仪器系统。其中电子光学系统是其核心。其他系统为辅助系统。