（1）电子束加工时，电子束聚焦直径小，可实现精密微细的加工。
（2）电子束加工属非接触式加工，工件不受机械力作用，不产生宏现应力和变形。
（3）加工材料范围很广，对脆性、韧性、导体、非导体及半导体材料都可加工。
（4）电子束的能量密度高，因而加工生产率很高。
（5）电子束容易控制，加工过程便于实现自动化。
（6）电子束加工在真空中进行，因而污染少，加工表面不氧化，特别适用于加工易氧化的金属及合金材料，以及纯度要求极高的半导体材料。