自检就是利用事先编制的程序对测控系统的主要部件进行自动检测，以确定是否有故障以及故障的内容和位置。自检是微机化测控系统应具备的基本功能之一，也是提高可靠性和可维护性的重要手段之一。
一般地讲，故障诊断的基本原理是对被测部件输入一串数据——试验数据，然后观察相应的输出数据，并对观察结果进行分析，确定故障的内容和位置。试验数据、观察到的结果数据和故障的对应关系应在故障诊断前准备好。
微机化测控系统的自检方式可分为三种类型：开机自检（在电源接通或系统复位之后进行）、周期性自检（运行过程中，间断插入自检操作）、键盘自检（面板上设“自检”按键，当用户对系统的可信度发出怀疑时，便通过该键来启动一次自检过程）。
一般来说，常见自检内容包括ROM、RAM、总线、显示器、键盘以及测量电路等部件的检测。测控系统能够进行自检的项目越多，使用和维修就越方便，但相应的硬件和软件也越复杂。