膜厚的量测方法有哪些？

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膜厚的量测方法有哪些？

参考答案：大致上可分为原位量测、离位量测两类
原位星测系指镀膜进行中量测，普遍使用在物理气相沉积，如微天平、光学、电阻量测。
离位量测系指镀膜完成后量测，对电镀膜的行使较为普遍，具有了解电镀效率的目的，如质量、剖面计、扫描式电子显微镜。

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