扩散脱氧是用炭粉、Fe-Si粉、Ca-Si合金粉、Al粉和石灰等材料造还原渣，脱除渣中的氧，使渣中FeO含量极低，约小于1.0%，进而降低钢中氧含量，达到脱氧的目的。根据分配定律：在一定温度下，氧在熔渣与钢水中的溶解达到平衡时，FeO在渣与钢中的质量分数之比是个常数。即：LFeO＝W（FeO）/W[FeO]。
当渣中FeO含量降低，平衡被破坏，为了保持在此温度下的分配常数，钢中氧必然向渣中扩散，从而降低了钢中氧含量，达到脱氧目的。可采用强吹氩搅拌或钢渣混冲保证渣钢混合，加速扩散脱氧速度。

在真空处理过程中，真空室内可以达到并且能保持的最低压力为真空度。处理一般钢液真空度通常都控制在67～134Pa范围之内。