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填空题

化学清洗中是利用硝酸的强()和强()将吸附在硅片表面的杂质除去。

参考答案:酸性;氧化性

填空题

在半导体工艺中,硫酸常用于去除()和配制()等。

参考答案:光刻胶;洗液

填空题

白光照射二氧化硅时,不同的厚度有不同的()。

参考答案:干涉色

填空题

半导体中的离子注入掺杂是把掺杂剂()加速到的需要的(),直接注入到半导体晶片中,并经适当温度的()。

参考答案:离子;能量;退火处理

填空题

离子注入是借其()强行进入靶材料中的一个()物理过程。

参考答案:动能;非平衡

填空题

外延生长方法比较多,其中主要的有()外延、()外延、金属有机化学气相外延、分子束外延、()、固相外延等。

参考答案:化学气相;液相;原子束外延

填空题

抛光片的质量检测项目包括:几何参数,直径、()、主参考面、副参考面、平整度、弯曲度等;(),电阻率,载流子浓度,迁移率等;晶体质量,晶向,位错密度。

参考答案:厚度;电学参数

填空题

半导体材料的主要晶体结构有()型、闪锌矿型、()型。

参考答案:金刚石;纤锌矿

填空题

半导体材料可根据其性能、晶体结构、结晶程度、化学组成分类。比较通用的则是根据其化学组成可分为元素()、()半导体、固溶半导体三大类。

参考答案:半导体;化合物

填空题

半导体材料有两种载流子参加导电,具有两种导电类型。一种是(),另一种是()。

参考答案:电子;空穴
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