投影掩膜版是一种透明的平板，在它上面有要转印到硅片上光刻胶层的图形。投影掩膜版只包括硅片上一部分图形，而光掩膜版包含了整个硅片的芯片阵列并且通过单一曝光转印图形。

增大了曝光场，可以获得较大的芯片尺寸，一次曝光可以多曝光些芯片，它还具有在整个扫描过程调节聚焦的能力。

减少曝光光源的波长对提高分辨率非常重要，波长的越小图像的分辨率就越高图像就越精确。

一，将掩膜版图案转移到硅片表面顶层的光刻胶中
二，在后续工艺中，保护下面的材料

暗场掩膜版是指一个掩膜版，它的石英版上大部分被铬覆盖，并且不透光。