问答题X 纠错
当真空里的压强减低时,气体分子间的空间加大了,这成为气体流过系统及在工艺腔内产生等离子体的重要因素。而初级泵可以去除腔内99.99%的原始空气或其他成分,高级真空泵用来获得压力范围10e-3托到10e-9托的高级和超高级真空。
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问答题
整形处理,切片,磨片和倒角,刻蚀,抛光,清洗,硅片评估,包装。
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