1、先打开瓶阀，在一个小塑料盒子盛入一些洗衣粉（或洗涤精）和水，搅拌成泡沫，用纱布把这些泡沫攒到各个联结处，看是否有小汽泡冒出，如有说明该联结处有漏气。
2、先打开瓶阀，之后再关掉，看各表指针读数是否变化。

其目的是保持镜片温度缓慢降低，防止镜片温度突然下降，导致镜片炸裂。

使机器内所要镀制的镜片温度均匀。

主要目的是快速冷却，由于氩气是不活泼性气体，很难与离子源部件发生氧化。

在镀膜之前要把材料预熔透彻，主要是为了材料进行放气，消除材料中其它成份，保持镀膜不产生飞溅和保持真空度稳定。

把晶振冷却水管进口、出口从连接处断开，并把阀门关上，用压缩空气气枪从进口处吹入压缩空气，看出口处是否有异物流出。