问答题X 纠错
首先按报警暂停按纽,查看报警内容,看自已是否知道?能否自已解决?如不能自已解决,查看作业指导书是否有,如没有向组长汇报,由组长再向技术人员询问如何解决,直到报警内容消除后才能按继续镀膜的键。
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问答题
把晶振冷却水管进口、出口从连接处断开,并把阀门关上,用压缩空气气枪从进口处吹入压缩空气,看出口处是否有异物流出。
高的真空度、低基板温度、快蒸
判断题
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